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該設(shè)備解決了硅片或電池片如何自動(dòng)的由成疊的形式裝到專用花籃的問題，同時(shí)根據(jù)客戶的需要，也可以把裝在花籃里的硅片或電池片自動(dòng)取出后成疊擺放。

主要可以用于以下工序：  擴(kuò)散清洗前裝卸籃，清洗后卸籃 ，PSG前裝籃卸藍(lán)，PECVD前裝籃

1、自動(dòng)化：實(shí)現(xiàn)分片自動(dòng)化、傳動(dòng)自動(dòng)化、入藍(lán)自動(dòng)化

2、低損傷性：可調(diào)節(jié)氣體分片，傳動(dòng)過(guò)程無(wú)硬物接觸

3、易操作：設(shè)備簡(jiǎn)單易學(xué)，一人同時(shí)操作兩臺(tái)

4、穩(wěn)定性：主要元器件采用進(jìn)口原件，穩(wěn)定、耐用